Владимир Бахрушин » Publication

Share It:
Blog It:
Published 2005-06-27 Published on SciPeople2011-08-27 09:27:15 JournalСложные системы и процессы


Вплив високотемпературних обробок на фізичні властивості монокристалів та монокристалічних шарів кремнію
Бахрушин В.Е. / Владимир Бахрушин
Сложные системы и процессы. - 2005. - № 1. - С. 32 - 46.
Abstract В работе проанализировано влияние высокотемпературных обработок в водороде на электрофизические свойства и образование поверхностных дефектов в монокристаллических пластинах и эпитаксиальных слоях кремния. Исследована кинетика и определены параметры формирования центров, отвечающих за снижение удельного электросопротивления n-Si. Систематизированы данные про глубокоуровневые центры, образующиеся при таких обработках.

Comments

You should sign in or sign up for comment this post
This comment was deleted
This comment was deleted
This comment was deleted