Владимир Бахрушин » Publication

Share It:
Blog It:
Published 2005-12-27 Published on SciPeople2011-08-27 09:37:50 JournalСложные системы и процессы


Особливості утворення ліній ковзання при осадженні слабколегованих автоепітаксійних шарів кремнію
Бахрушин В.Е., Ткаченко Р.А. / Владимир Бахрушин
Сложные системы и процессы. - 2005. - № 2. - С. 43 - 48.
Abstract Определены кристаллографические условия, характеризующие возможность визуального (по наличию макроскопической ступеньки на поверхности) и металлографического (по образованию цепочки ямок травления) выявления линий скольжения в кремниевых эпитаксиальных композициях. Показано, что во время осаждения эпитаксиального слоя может происходить аннигиляция дислокаций и их частичное упорядочение в полосе скольжения.

Comments

You should sign in or sign up for comment this post
This comment was deleted
This comment was deleted
This comment was deleted