Владимир Бахрушин » Publication

Share It:
Blog It:
Published 2008-06-27 Published on SciPeople2011-08-27 10:02:05 JournalСложные системы и процессы


Статистичний аналіз неоднорідності товщини епітаксійних шарів кремнієвих композицій
Бахрушин В.Е., Игнахина М.А. / Владимир Бахрушин
Сложные системы и процессы. – 2008. - № 1. – С. 3 – 8.
Abstract Построены и исследованы эмпирические функции распределения для показателей неоднородности толщины эпитаксиальных слоев в группе кремниевых композиций. Для изученных показателей они могут быть представлены в виде суммы двух нормально распределенных величин или как однородная нормально распределенная выборка.

Comments

You should sign in or sign up for comment this post
This comment was deleted
This comment was deleted
This comment was deleted