Владимир Бахрушин » Publication

Share It:
Blog It:
Published 2001-06-27 Published on SciPeople2013-04-30 13:46:20


Получение и физические свойства слаболегированных слоев многослойных композиций
Бахрушин В.Е. / Владимир Бахрушин
Бахрушин В.Е. Получение и физические свойства слаболегированных слоев многослойных композиций. - Запорожье: ГУ "ЗИГМУ", 2001.- 247 с.
Abstract Рассмотрены особенности поведения примесей в монокристаллах кремния, основные механизмы формирования, физические свойства и структурное совершенство слаболегированных слоев кремниевых эпитаксиальных композиций.

No comments

You should sign in or sign up for comment this post